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产品名称:

日本新宇宙 泄漏检测(半导体用)

产品型号: XP-703D 产品时间: 2020-12-09
日本新宇宙 泄漏检测(半导体用)
一、技术特点:
1.适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测
2.通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏

产品概述

 日本新宇宙 泄漏检测(半导体用)

一、技术特点:

1.适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测
2.通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏

日本新宇宙 泄漏检测(半导体用)

二、技术参数:

型号

 XP-703D

检测原理

 热线型半导体式

检测对象气体

 半导体材料气体(砷化三氢、磷化氢、、硅烷等)

能检测的泄漏量

能检测的浓度

  砷化三氢 
 AsH3 
 1.0×10-7 
 0.2          

 磷化氢
 PH3 
 1.5×10-7 
 0.3

乙PENG烷 
 B2H6 
 0.5×10-7 
 0.1

 硅烷 
 SiH4 
 2.5×10-7
 0.5

 氢气 
 H2 
 5×10-7 Pa·m3 /s 
 1.0 ppm

应答时间

 10秒

检测表示

 蜂鸣器发出断续音且报警灯闪烁

电源

 5号锰干电池4节

电池使用时间※1

 使用碱性干电池使用约9小时(使用锰干电池约3小时)

使用温度范围

 0℃~40℃

外形尺寸

 W68×H155×D32mm

重量

 约400g(包括电池)

附件

 皮套、吸引过滤器、过滤片、检查气体、标准辅助橡胶管、5号锰     干电池4本

另售的选购品

 Ni-Cd电池充电器、耳机

 

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